원리 탐구
질문 하나에 답하고, 그 자리에서 손잡이를 돌려 확인합니다. 숫자는 각 페이지의 시뮬레이터와 같은 계산에서 나옵니다.
- CCP 자기 바이어스 — 웨이퍼를 올린 전극은 왜 음전압이 될까RF를 블로킹 커패시터로 건 작은 전극에는 시간평균 음전압(V_dc)이 생긴다. 전자와 이온의 이동도 차이, 면적비 법칙 V̄₁/V̄₂=(A₂/A₁)^q, 파워·압력·주파수·전극 크기가 V_dc와 이온 에너지를 어떻게 바꾸는지 단면 시뮬레이터로 직접 돌려 본다.
- 이온·라디칼 시너지 — 따로는 5와 2인데 같이 쪼이면 왜 55가 될까라디칼만 쪼이면 느리고 이온만 쪼여도 느린데, 둘을 같이 쪼이면 식각률이 합의 약 8배가 된다(Coburn–Winters 1979). 라디칼이 표면 결합을 약하게 만들고 이온이 그 자리를 떼어 내는 표면 덮임 모델로, 시너지와 이방성이 한 원리에서 나오는 것을 손잡이로 확인한다.
- 가스 공급계 운전 — 왜 스크러버와 펌프가 먼저고, 공정가스가 마지막일까반도체 장비의 가스 공급계(가스 스틱·MFC·공압 차단밸브·스크러버)를 정해진 순서로 기동하는 이유, 인터록이 막는 조작, MFC 지시값과 실제 유량이 어긋날 때의 진단 순서를 P&ID 운전 실습 화면과 같은 모델로 정리한다.
- 식각 챔버 운전 — 왜 배기·가스·압력이 먼저고 RF가 마지막일까플라즈마 식각 챔버(CCP·ICP)를 정해진 순서로 기동하는 이유, 점화·바이어스를 막는 인터록, 식각률이 로트마다 다를 때와 반사파가 흔들릴 때의 진단 순서, He 백사이드 냉각이 끊겼을 때의 대응을 P&ID 운전 실습 화면과 같은 모델로 정리한다.